【摘 要】
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本文给出了近十年来各种波长的激光在超大规模集成电路(VLSI)的精细化加工中的应用领域,重点介绍了激光在VLSI制备中应用的新进展。包括激光金属平坦化,激光载带自动键合,激
【机 构】
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河北大学电子系 保定 071002
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本文给出了近十年来各种波长的激光在超大规模集成电路(VLSI)的精细化加工中的应用领域,重点介绍了激光在VLSI制备中应用的新进展。包括激光金属平坦化,激光载带自动键合,激光多层布线和多芯片互连以及激光掩膜版和芯片图形缺陷的修复。
This paper presents the applications of lasers with various wavelengths in the VLSI refinement in the recent ten years and highlights the recent advances in laser VLSI fabrication. Including laser metal flattening, laser-loaded auto-bonding, laser multi-layer wiring and multi-chip interconnect, and repair of laser mask and chip graphics defects.
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