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针对微电子信息产业的发展对我国电子化学品行业带来的发展机遇,概述了行业发展的现状及超净高纯试剂与光刻胶两大类品种的生产现状、研究方向和市场潜力.
我国电子化学品产业的发展现状及前景
【摘 要】
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针对微电子信息产业的发展对我国电子化学品行业带来的发展机遇,概述了行业发展的现状及超净高纯试剂与光刻胶两大类品种的生产现状、研究方向和市场潜力.
【机 构】
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浙江大学海纳半导体科技分公司,浙江省化工研究院蓝天环保高科技公司浙江杭州310011
【出 处】
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浙江化工
【发表日期】
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2003年6期
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