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用改进的溶胶一凝胶法制备光滑致密的预晶化铈（Ce）和锰（Mn）共掺钛酸锶钡（CeMn—SST）薄膜。电容－电压曲线表明，随着薄膜厚度的增加，综合介电性能大幅度改善，8层薄膜显示介电常数约为1300、低于0．007介电损耗、高于58％调谐率及接近180优质因子等优化介电性能，为主要沿（1101晶面层状生长的钙钛矿结构。