用激光准直仪测量大平台平面度方法的误差分析

来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mijun123
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本文以不等精度原则,着重分析了对角线法测量平面度的误差,推导出了精度较高的数学表达式。使旧有的在等精度原则下,推导出的误差公式,有了新的发展。并对其它两种方法测量平面度的误差亦进行了分析和数学公式的推导。
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