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通过对2002年上海超高压输变电公司SF6设备水分测量数据的分析统计，指出水分超标是SF6设备大量使用后面临的主要问题。介绍了水分对SF6设备化学腐蚀和绝缘的危害，指出SF6设备水分超标的主要原因是设备出厂时未彻底干燥、密封不良及SF6气体中水气特性而导致的。还介绍了现场换气和返厂大修两种处理方法。