溶胶浓度对Ag／Mg0．2Zn0．8 O／ITO阻变异质结性能的影响研究

• 作 者: 高书明 王华 许积文 张小文 袁昌来 杨玲
• 机 构: 桂林电子科技大学材料科学与工程学院
• 出 处: 人工晶体学报
• 发表日期: 2013年4期
• 关键词: Mg0.2Zn0.8O 阻变异质结 溶胶浓度 溶胶-凝胶工艺 Mg0.2 Zn0.8 O resistance switching heterostructu

采用溶胶-凝胶法制备了Ag／Mg0．2Zn0．8 O／ITO异质结，研究了溶胶浓度对Mg0.2：Zn0.8O 薄膜生长行为、阻变性能和疲劳特性等的影响。研究表明：Mg0.2 Zn0.8 O为多晶薄膜，平整致密，且随溶胶浓度的增加结晶度逐步增强，但溶胶浓度过大会导致裂纹产生。阻变行为表明，随着溶胶浓度的增加，k电压逐渐升高，高阻态的阻值（R_HRS）逐渐下降，低阻态的阻值（R_LRS）无明显变化，R_HRS／R_LRS和无疲劳循环次数逐渐降低。不同溶胶浓度所制备Ag／Mg0．2Zn0．8 O／ITO异质结遵