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集成电路ESD防护浅析
集成电路ESD防护浅析
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ilbgsm
【摘 要】
:
论述了集成电路(IC)中静电的产生机理及其放电形式,分析了静电对集成电路器件的危害,在此基础上阐述了集成电路生产中预防静电的相关措施。
【作 者】
:
郭昌宏
周金成
李习周
张易勒
【机 构】
:
天水华天科技股份有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2018年03期
【关键词】
:
静电
防护
损坏
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论述了集成电路(IC)中静电的产生机理及其放电形式,分析了静电对集成电路器件的危害,在此基础上阐述了集成电路生产中预防静电的相关措施。
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