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介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路，给出了在电路中所用的电子元器件，同时进行分析，得到电路的输出电压和传感器信号电容变化量之间的关系。实验结果表明，该电路的线性高，测量差分电容变化的灵敏度好，是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路。
微机械电容式加速度传感器的信号电路设计
【摘 要】
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介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路，给出了在电路中所用的电子元器件，同时进行分析，得到电路的输出电压和传感器信号电容变化量之间的关系。实验结果表
【机 构】
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广东省计量科学研究院工程师,华南理工大学在读博士生
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2005年7期
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