【摘 要】
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本文介绍了化学汽相沉积(CVD)的基本原理及其工艺特点.列举了 CVD 工艺应用于高温气冷堆(HTGR)燃料颗粒制备、核废物处理及激光聚变靶球制备等方面的实例。对该工艺在核工程
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本文介绍了化学汽相沉积(CVD)的基本原理及其工艺特点.列举了 CVD 工艺应用于高温气冷堆(HTGR)燃料颗粒制备、核废物处理及激光聚变靶球制备等方面的实例。对该工艺在核工程中的应用价值及进一步发展的必要性进行了评价。
This paper introduces the basic principle of chemical vapor deposition (CVD) and its process characteristics, and gives examples of the CVD process applied to HTGR fuel pellets preparation, nuclear waste disposal and laser fusion target pellet preparation. The value of the process in nuclear engineering and the need for further development were evaluated.
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