椭偏法测试聚合物薄膜折射率的研究

• 作 者: 周建华 游佰强 陈振兴 肖磊 王静
• 机 构: 厦门大学电子工程系,厦门晶尊微电子科技有限公司,厦门大学材料科学工程系
• 出 处: 光电子技术与信息
• 发表日期: 2005年5期
• 关键词: 聚合物薄膜 椭圆偏振仪 折射率 膜厚 polymer film ellipsometry refractive index film thickness
• 基金项目: 福建省青年科技人才创新基金

针对聚合物PMMA改性光波导研制的需求,自建了一台变入射角、开放光路、适用范围更广的椭偏测试仪.通过实际测量聚合物PMMA改性薄膜,并与国内椭偏仪实测数据进行对比分析,表明本系统的实验数据更为可信.在此基础上还用本系统实测了几种常用光刻胶薄膜,通过估算和分析它们的折射率在日照前后的变化,进一步验证本系统的可行性和适应性.论文最后对此类系统设置要点进行了归纳,为系统今后的改进提供参考.