基于LM-BP神经网络模型的MEMS加速度计温度补偿方法研究

• 作 者: 杨志梅 周小龙 徐大诚
• 机 构: 苏州大学微纳传感技术研究中心
• 出 处: 仪表技术与传感器
• 发表日期: 2015年11期
• 关键词: 扭摆式硅微加速度计 神经网络 温度补偿 标度因数 零偏稳定性 pendulous micro machined silicon accelerometerneu

随着MEMS加速度计应用领域的不断广泛,其温度性能越来越受到重视。在研究扭摆式硅微加速度计结构与温度特性的基础上,采用改进LM-BP神经网络来构建MEMS加速度计的补偿模型,通过实时温度变化优化出温度补偿模型参数,进而实现实时温度补偿。实验结果表明,通过该方法补偿后的标度因数温度系数和全温零偏稳定性分别由252 ppm/℃和16.62 mg/h减小为100 ppm/℃和2.30 mg/h,证明了该温度补偿方法的有效性和可行性。