【摘 要】
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本文简要描述以硅作为材料的各种悬臂梁的制造和应用,给出悬臂梁机械谐振频率的表达式。以一种简化的模型,详细分析悬臂梁的电学、机械性能,从而阐明悬臂梁阈电压的概念,导出
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本文简要描述以硅作为材料的各种悬臂梁的制造和应用,给出悬臂梁机械谐振频率的表达式。以一种简化的模型,详细分析悬臂梁的电学、机械性能,从而阐明悬臂梁阈电压的概念,导出悬臂梁的极化电压和阈电压之间的关系,以及梁的实际机械谐振频率和极化电压之间关系的表达式。
This article briefly describes the manufacture and application of various cantilever beams made of silicon, and gives the expression of mechanical resonant frequency of cantilever beam. In a simplified model, the cantilever electrical and mechanical properties are analyzed in detail to clarify the concept of the cantilever threshold voltage. The relationship between the cantilever polarization voltage and the threshold voltage and the actual mechanical resonance frequency and pole The relationship between the voltage expression.
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