扫描SQUID显微镜及其在物理研究和微电子工程中的应用

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扫描SQUID显微镜,是90年代出现的一种新型微结构磁成像仪器,是迄今为止探测微米尺度结构中微弱磁场或微小电流的最灵敏的仪器.它可检测小于10-10T的磁场,几个纳安(10-9A)的电流或几百个玻尔磁子的永久磁矩.虽然诞生时间不长,但它无论在基础研究(例如,关于高温超导体波函数对称性的著名三晶超导环实验)还是在应用研究(例如,微电子器件中的捕获磁通问题)都已发挥了重要作用,显示了它在未来科学与技术发展中的广阔应用前景. The scanning SQUID microscope, a new type of microstructured magnetic imaging instrument that emerged in the 90s, is by far the most sensitive instrument for detecting weak magnetic fields or tiny currents in microscale structures. It can detect magnetic fields of less than 10-10T, currents of a few nanoamperes (10-9A) or permanent moments of several hundred Bohr’s magnets. Although it was not a long time to go, it has been used both in basic research (eg, the famous triple crystal superconducting ring experiment on the symmetry of high temperature superconductor wave functions) and in applied research (eg, capture flux problems in microelectronic devices) Played an important role, showing its broad application prospects in the future development of science and technology.
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