【摘 要】
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大尺寸直拉单晶硅的“增效降本”是当前光伏企业急需解决的问题。本文采用有限元体积法对φ300 mm直拉单晶硅生长过程分别进行稳态和非稳态全局模拟，研究提高拉晶速率对直拉单晶硅生长过程中的固液界面、点缺陷分布以及生长能耗的影响。结果表明，拉晶速率提高为1.6 mm/min时固液界面的偏移量为33 mm，不会影响晶体的稳定生长；拉晶速率对晶体中点缺陷的分布起决定性因素，提高拉晶速率不仅能降低自间隙点缺陷
【基金项目】
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国家自然科学基金（51962030）； 直拉法单晶硅低能耗关键制备技术研究（2022XQZD006）；
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大尺寸直拉单晶硅的“增效降本”是当前光伏企业急需解决的问题。本文采用有限元体积法对φ300 mm直拉单晶硅生长过程分别进行稳态和非稳态全局模拟，研究提高拉晶速率对直拉单晶硅生长过程中的固液界面、点缺陷分布以及生长能耗的影响。结果表明，拉晶速率提高为1.6 mm/min时固液界面的偏移量为33 mm，不会影响晶体的稳定生长；拉晶速率对晶体中点缺陷的分布起决定性因素，提高拉晶速率不仅能降低自间隙点缺陷的浓度，而且使晶棒内V/G值始终高于临界值；且拉晶速率对功率消耗影响较大，提高拉晶速率后晶体生长时间减少了46.4%，单根晶体生长消耗功率降低了约4.97%。优化和控制适宜的拉晶速率有利于低成本地生长特定点缺陷分布甚至无点缺陷单晶硅，为提高大尺寸直拉单晶硅质量，降低生产能耗提供一定的理论支持。
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