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简要介绍了等离子体和微细加工技术。叙述了等离子体技术在微细加工技术的三个主要方面－－微车图形加工、离子注入、薄膜沉积－－中的应用。
等离子体技术在微细加工中的应用
【摘 要】
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简要介绍了等离子体和微细加工技术。叙述了等离子体技术在微细加工技术的三个主要方面－－微车图形加工、离子注入、薄膜沉积－－中的应用。
【机 构】
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大连理工大学物理系
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1998年4期
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