【摘 要】
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采用酸腐蚀法,在小面积(2 ×2 )多晶硅绒面制作的基础上,成功地在大面积(10 ×10 )多晶硅片表面上制作了绒面。利用扫描电子显微镜(SEM)观察其表面形貌并进行反射谱测试,结果
【基金项目】
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河南省自然科学基金资助项目(004040200)
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采用酸腐蚀法,在小面积(2 ×2 )多晶硅绒面制作的基础上,成功地在大面积(10 ×10 )多晶硅片表面上制作了绒面。利用扫描电子显微镜(SEM)观察其表面形貌并进行反射谱测试,结果表明腐蚀比较均匀,表面减反射效果较好,加权反射率可以达到5.26%,其减反射效果对入射光波长选择性不明显,远好于工业生产用的SiN减反膜。
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