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采用溶胶-凝胶法在玻璃载波片及ITO导电玻璃片上制备出负载型纳米TiO2薄膜，并用原子力显微镜（AFM）对不同条件下制备的TiO2的表面形貌进行了表征。结果表明，TiO2薄膜能较好地负载在玻片表面，并且TiO2薄膜的表面形貌与前驱物的配比浓度、基片、热处理温度等都有密切的关系。随浓度和镀膜层数的增大，薄膜中TiO2纳米微晶的颗粒尺寸逐渐增大，从细小均匀粒子膜变为较大不规则的板块结构。在ITO薄膜面形成的TiO2薄膜具有较小的颗粒和均匀的分布。