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采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石（Al-DLC）薄膜，利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能．结果表明：所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密，表面粗糙度小，应力较低，硬度较高；薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能；加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低，耐磨寿命显著提高．