磁控溅射TiAlN薄膜的制备及性能研究

• 作 者: 张靖华 金杰 倪茂林 吴锋
• 机 构: 杭州汽轮机股份有限公司,浙江工业大学机械工程学院
• 出 处: 轻工机械
• 发表日期: 2013年1期
• 关键词: TIALN薄膜 组织结构 显微硬度 摩擦系数 TiAIN films microstructure microhardness friction c

采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀的方法，在工具钢表面制备了TiAIN薄膜。运用EDS、XRD和SEM对薄膜的成分、组织结构和表面形貌进行了测试，此外，也测定了薄膜的表面显微硬度、摩擦系数。结果表明，不同硬度基体上的TiAIN薄膜成分相同，膜层致密；硬、软基体上薄膜的显微硬度最高可达到2575HV0.025和2295HV0.025，摩擦系数分别在0．45和0．50左右。