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采用集成电路工艺模拟软件SSUPREM4模拟了氧化、扩散工艺,并同实验值进行了比较,模拟值和实验值的偏差在10%以内.与集成电路器件模拟软件S-PISCES联用模拟了SSUPREM4的全工序,并把它应用于实际生产.结果表明SSUPREM4有较大应用价值.
集成电路工艺模拟软件SSUPREM4的应用
【摘 要】
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采用集成电路工艺模拟软件SSUPREM4模拟了氧化、扩散工艺,并同实验值进行了比较,模拟值和实验值的偏差在10%以内.与集成电路器件模拟软件S-PISCES联用模拟了SSUPREM4的全工序
【机 构】
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复旦大学电子工程系,专用集成电路与系统国家重点实验室,上海,200433上海先进半导体制造有限公司,上海,200233;
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年6期
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