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在室温和无添加气体条件下,完成了六甲基二硅胺烷较低功率密度的等寒子体聚合。研究了聚合膜的沉积规律和过程。给出了聚合物膜的结构和性质。得到经验式为 C_(1.42)H_(2.65)N_(0.2)O_(0.15)Si的新聚合物。
六甲基二硅胺烷的等离子体聚合
【摘 要】
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在室温和无添加气体条件下,完成了六甲基二硅胺烷较低功率密度的等寒子体聚合。研究了聚合膜的沉积规律和过程。给出了聚合物膜的结构和性质。得到经验式为 C_(1.42)H_(2.65)
【机 构】
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中国科学院成都有机化学研究所,中国科学院成都有机化学研究所成都,610041,成都
【出 处】
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合成化学
【发表日期】
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1993年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金委员会资助中科院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室资助成都分院测试中心资助
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