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概述射频MEMS开关的研究背景及意义，介绍国内外射频MEMS开关的研究现状，列举出两种主要的射频MEMS开关：电容耦合并联式开关和金属．金属接触串联式开关的结构、工作原理、性能比较。
射频MEMS开关的研究
【摘 要】
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概述射频MEMS开关的研究背景及意义，介绍国内外射频MEMS开关的研究现状，列举出两种主要的射频MEMS开关：电容耦合并联式开关和金属．金属接触串联式开关的结构、工作原理、性能比较
【机 构】
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苏州市职业大学电子信息工程系,福州大学物理与电信工程学院,厦门大学萨本栋微机电研究中心
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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2008年8期
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