【摘 要】
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为了测量极高真空的压强 ,尤其是航天飞机的极高真空分子屏后宇宙空间的压强 ,本文作者研制了一种类似静电鞍场规的极低压强传感器 (XHVS型 )。XHVS型极低压强传感器的压强测
【机 构】
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为了测量极高真空的压强 ,尤其是航天飞机的极高真空分子屏后宇宙空间的压强 ,本文作者研制了一种类似静电鞍场规的极低压强传感器 (XHVS型 )。XHVS型极低压强传感器的压强测量范围为 1× 1 0 - 4～ 1× 1 0 - 1 0 Pa,它具有灵敏度高、电极尺寸小、吸放气率低、功耗低等特点。作者计算了 XHVS型极低压强传感器模型的电场分布以及电子、离子的运动轨迹 ;利用蒙特卡罗方法对 XHVS型极低压强传感器的灵敏度常数等特性参量进行了模拟计算 ;对 XHVS1型极低压强传感器做出了样管 ,并在现有条件下进行了测试。实验测定在典型工作参量下 ,XHVS型的灵敏度为 6Pa- 1 ,与模拟计算结果基本相符
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