ACHIEVING THRESHOLD BARRIER OF 1 nm ROUGHNESS VALUE OF SILICON SURFACE BY DIAMOND TURNI

来源 :Chinese Journal of Mechanical Engineering(English Edition) | 被引量 : 0次 | 上传用户：mm7458106

【摘要】

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【出处】

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Chinese Journal of Mechanical Engineering(English Edition)

【发表日期】

：

1998年01期

【关键词】

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SURFACE

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