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半导体车间新风机组都会采用水洗喷淋加湿段,文章主要介绍了采用水洗喷淋加湿段的必要性、合适的水洗段用水水质、水洗段设置位置及选型参数,并分享了几点水洗段的节能措施,以供交流参考。
半导体车间新风机组水洗喷淋加湿段选型探讨
【摘 要】
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半导体车间新风机组都会采用水洗喷淋加湿段,文章主要介绍了采用水洗喷淋加湿段的必要性、合适的水洗段用水水质、水洗段设置位置及选型参数,并分享了几点水洗段的节能措施,
【机 构】
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北京中瑞电子系统工程设计院有限公司上海分院,中国电子系统工程第二建设有限公司三分公司
【出 处】
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智能城市
【发表日期】
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2020年6期
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