【摘 要】
：
水导激光加工技术与水辅助激光加工技术是目前广泛应用与研究的两种激光水射流复合加工技术,都可以代替传统机械加工方法对单晶硅片进行划片切割工作。但由于激光与水射流耦
论文部分内容阅读
水导激光加工技术与水辅助激光加工技术是目前广泛应用与研究的两种激光水射流复合加工技术,都可以代替传统机械加工方法对单晶硅片进行划片切割工作。但由于激光与水射流耦合方式不同,单晶硅片切割加工效果存在显著差异。在确保激光参数与水射流参数相同的前提下,分别采用上述两种加工方法对单晶硅片进行划槽加工,对比研究其槽道深度与宽度、槽道截面形状、熔渣残留及热影响区等方面的差异性,并综合分析导致差异的根本原因。实验结果表明,相比水辅助激光加工,水导激光加工的槽道宽而浅,呈"V"字形,但其槽道表面干净熔渣少,无毛刺,热影响区较小,更适用于晶圆的高精划片切割加工。
其他文献
激光立体成形技术是一项先进的增材制造技术,在航空航天等高技术领域具有广泛的应用前景.研究针对飞机结构件中的相交筋板结构,探讨相交部位结构的常规设计对激光立体成形冶
躯体形式障碍是精神科的一种疾病，具有很强的专科特点。其主要临床表现是患者表现或诉述各种躯体不适，但是躯体和实验室检查却查不出相应的器质性基础：即使存在某些躯体异常也不
根据世界卫生组织推算，中国神经精神疾病负担到2020年将上升至疾病总负担的1/4。影响人类健康的疾病谱发生改变，精神疾病与躯体疾病有相当大的重叠。本文从以下方面进行论述：一
矩形光斑是宽带激光熔覆的常用热源。根据矩形光斑扫描过的熔覆层呈现上厚下薄的“双椭圆”形状,提出了椭圆热源模型,在FLUENT软件平台上建立了基于椭圆热源的三维瞬态激光熔
十二月二日浙江省科学技术协会发出通知,号召全省各条战线的科技工作者,向蒋筑英、岁健夫同志学习。通知指出:蒋筑英、罗健夫同志是我国科技队伍中的共产主义战士,是党培养
基于传统的十字型结构,设计了一种可工作在太赫兹大气通信窗口的超介质十字型阵列多层带通滤波器,中心频率为338GHz,中心频点的透射率为94.7%,并讨论了十字型滤波器的传输特
目的：了解本院口服降糖药的应用情况，探讨其用药合理性。方法：调查本院1192例现住院的精神病人，统计其应用口服降糖药的情况。结果：全院应用口服降糖药有60人，占住院总人数5.03％;其
以NiCr/Cr3C2-10%WS2、NiCr/Cr3C2-20%WS2、NiCr/Cr3C2-30%WS2合金粉末为原料,采用激光熔覆技术在Ti-6Al-4V合金表面制备了γ-NiCrAlTi/TiC+TiWC2/CrS+Ti2CS复合涂层。采用X
目的：了解药物不良反应在老年分裂症患者中的发生情况。方法;对98例住院老年分裂症患者使用抗精神病药物治疗期间，采用治疗时出现的症状量表(TESS)对药物不良反应进行了调查。
一九七六年冬,山西省委前主要负责人,惜清查为名,无端将我拘押入狱,直至三中全会前夕匆忙释放,历时凡二载。铁窗斗室、四壁凄然。屈指晨昏,驰心家国。初痛一己之沉冤,终察十