论文部分内容阅读
金刚石膜和类金刚石膜具有优异的力学特性，电气特性，光学特性，热学特性和化学化学稳定性。与金刚石膜相比，类金刚石膜的制备工艺比较简单易行，因此，类金刚石膜很快进入成熟阶段，文中主要评述类金刚石膜的制备方法，性能，发展状况和军民两方面的应用。简单介绍了前苏联在类刚石膜的研究及应用方面所取得的使世人瞩目的进展。