【摘 要】
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为了满足ASTROD激光宇航动力学任务慨念计划的高精度要求,以及实现新质量标准,我们开始进行次纳米激光测长与纳米定位控制的研究.本文将回顾我们在清华大学与工研院测量中心
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为了满足ASTROD激光宇航动力学任务慨念计划的高精度要求,以及实现新质量标准,我们开始进行次纳米激光测长与纳米定位控制的研究.本文将回顾我们在清华大学与工研院测量中心的研究成果,介绍如何利用外差式激光干涉仪、挠性微动台与压电陶瓷,进行次纳米激光测长与纳米定位控制.此研究成果将做为ASTROD计划中,无拖曳航天技术的研发基础.之后讨论如何将纳米定位控制系统与扫描穿隧显微镜进行整合,完成计量型扫描穿隧显微镜,进一步将微结构的测量尺寸直接追溯至长度标准.
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