【摘 要】
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根据位敏探测器的理想定位模型及其信号处理方式,建立了位敏探测器位移测量误差的数学模型,以获得高准确度的位移测量.所建模型显示系统的测量误差随光斑强度增大而减小,随电
【机 构】
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重庆大学光电工程学院光电技术教育部重点实验室
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根据位敏探测器的理想定位模型及其信号处理方式,建立了位敏探测器位移测量误差的数学模型,以获得高准确度的位移测量.所建模型显示系统的测量误差随光斑强度增大而减小,随电噪音增大而增大.为了验证理论模型的正确性,以单颗红外发光二级管作为靶标光源,用枕型位敏探测器及其测试电路板在暗室中搭建了实验系统,分别在9组不同光斑强度下对21个位置点进行位移测量实验,相邻两位置点的间距为0.3mm.使用MATLAB的CFTOOL工具对每组测得位移值进行拟合,以均方根误差作为准确度的评价指标,结果表明：位移实验的准确度值与模型
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