【摘 要】
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为提高类金刚石涂层与奥氏体不锈钢之间的结合强度,利用等离子体增强化学气相沉积技术分别在未处理和氮化处理的AISI 316L表面沉积类金刚石(DLC)涂层,研究不同沉积温度下DLC
【基金项目】
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国家自然科学基金(51502126);辽宁科技大学省级重点实验室中心开放课题(USTLKFSY201705);辽宁科技大学青年基金(2018QN12)~~
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为提高类金刚石涂层与奥氏体不锈钢之间的结合强度,利用等离子体增强化学气相沉积技术分别在未处理和氮化处理的AISI 316L表面沉积类金刚石(DLC)涂层,研究不同沉积温度下DLC及氮化复合DLC涂层的相结构与摩擦学性能。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)表征涂层的相结构;采用扫描电子显微镜(SEM)观察截面形貌,并用EDS测量氮、碳元素的深度分布;采用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、超景深显微镜、划痕仪检测DLC涂层的摩擦学性能。结果表明:氮化复合DLC涂层的结合力和耐磨性优于DLC涂层;其
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