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用ＥＡＣＶＤ法在硬质合金（ＹＧ６）刀具上沉积金刚石涂层；用氢微波等离子体刻蚀的方法对基底进行表面预处理，以期提高金刚石涂层的附着力和涂层刀具的切削性能；附着力采用压痕法计算测定，切削性能通过对碳化硅增强铝基复合材料的切削试验测定；用Ｘ射线应力仪测试了涂层残余应力，并就不同预处理对性能的影响进行了分析和讨论。