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一、引言近年来,非晶态半导体薄膜无论从理论或实验都进行了广泛研究,并且得到许多方面的应用。由于非晶态硅比单晶硅有更好的光吸收特性,因而可做成廉价的太阳电池,特别是可做成大面积的薄膜太阳电池组件,大大的降低了太阳电池造价。目前非晶
沉积条件对GD′a-SiN_x:H,a-Si:H及a-Si:H/a-SiN_x:H多层膜某些性质的影响
【摘 要】
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一、引言近年来,非晶态半导体薄膜无论从理论或实验都进行了广泛研究,并且得到许多方面的应用。由于非晶态硅比单晶硅有更好的光吸收特性,因而可做成廉价的太阳电池,特别是可
【机 构】
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兰州大学物理系,甘肃省科学信息研究室
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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1989年1期
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