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【摘 要】
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300mm投资热起来了酝酿于90年代中期、后被经济衰退所延误的300mm圆片制造技术，终于因半导体工业的复兴而得以全速发展。目前世界上共有26个300mm工厂正在建造之中，这些工厂在
【机 构】
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北京微电子技术研究所
【出 处】
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电子产品世界
【发表日期】
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2000年12期
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