自组装单层膜表面制备BiFeO3图案化薄膜的研究

• 作 者: 谈国强 宋亚玉 苗鸿雁 博海洋 夏傲
• 机 构: 陕西科技大学教育部轻化工助剂化学与技术重点实验室
• 出 处: 无机化学学报
• 发表日期: 2009年11期
• 关键词: 十八烷基三氯硅烷(OTS) 自组装 铁酸铋薄膜 图案化 octadecyhrichlorosilane（OTS） self-assembly BiFeO3 fi
• 基金项目: 国家自然科学基金项目（No.50672055）,国家科技支撑计划项目（No.2006BAF02A28）,国家自然科学基金项目（No.50872077）,陕西科技大学研究生创新基金资助项目.

采用短波紫外光（UV）对十八烷基三氯硅烷（OTS）自组装单分子层（SAMs）进行刻蚀,利用化学液相法在OTS-SAMs模板表面制备出铁酸铋（BiFeO3）图案化薄膜。通过接触角、X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、X射线能谱（EDS）等测试手段对OTS膜和BiFeO3薄膜进行表征。结果表明：以OTS为模板利用化学液相法成功制备出边缘轮廓清晰、条纹宽度为10～20μm的BiFeO3图案化薄膜。