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利用能量为1.7MeV，注量分别为1013～1015/cm2的电子束辐照二氧化钒薄膜，对辐照及未辐照样品进行了UV-VIS、XPS参数测试，并测量900nm处光透射性能随温度的变化。发现电子辐照导致了VO2薄膜中的V离子价态由V4+向V5+转变，薄膜热致相变前后的光透射比随注量增加变化较小，只在注量为1014/cm2时光透射比减小得较明显；相变温度点及热滞回线宽度随注量增加出现显著变化。并对有关的结果进行了讨论。