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“神光”Ⅲ装置对所使用的大口径光学元件提出了透(反)射波前的技术指标要求，这些指标均需使用大口径的干涉仪来进行检测。由于光学检测的不确定度较大，且不同的相移及分析算法最终也会影响测试的精度及可重复性。因此针对干涉检测算法进行研究。
大口径光学元件干涉检测平台的建立
【摘 要】
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“神光”Ⅲ装置对所使用的大口径光学元件提出了透(反)射波前的技术指标要求，这些指标均需使用大口径的干涉仪来进行检测。由于光学检测的不确定度较大，且不同的相移及分析算法
【出 处】
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中国工程物理研究院科技年报
【发表日期】
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2003年1期
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