【摘 要】
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采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在不同衬底温度(常温、50、100、150、200C)下制备了碳氮(CNx)薄膜,并对其形貌、结构及光学性能进行了研究.通过扫描电镜得出随着衬底温
【机 构】
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西南科技大学材料科学与工程学院 绵阳621010西南科技大学极端条件物质特性实验室 绵阳621010;
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采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在不同衬底温度(常温、50、100、150、200C)下制备了碳氮(CNx)薄膜,并对其形貌、结构及光学性能进行了研究.通过扫描电镜得出随着衬底温度的升高,薄膜由疏松逐渐变得致密.X射线光电子能谱分析表明:薄膜的结合健有sp2C =C、sp3C-C、sp2C=N和sp3C-N.随着衬底温度的升高,sp2C =C的比例没有明显变化,sp3C-C比例逐渐增大(28.6％～36.4％),sp3C-N的比例也逐渐增大(21.4％ ～ 33.4％),而sp2C=N的比例减小(40.2％ ～21％).反射光谱和吸收光谱显示:随着衬底温度的升高,薄膜在200 ～ 800 nm波段内的反射率增大(8％～40％),吸收率减小(92％～60％).进一步推导得到薄膜的光学带隙随着衬底温度的升高而增大(2.5 ～3.57 eV),主要由薄膜中sp2C=N减少导致的.本文实现了对CNx薄膜在紫外可见波段范围内的光学带隙的调控.
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