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(1-x)Ba(Ti0.8Zr0.2)O3-x(Ba0.7Ca0.3)TiO3 (BZT-xBCT)是一类新型的无铅铁电材料,表现出良好的铁电、压电性能,特别是x = 0.5时,BZT-0.5BCT处于准同型相界区域,具有优异的压电性能,而铁电性的研究还较少。本文采用溶胶–凝胶方法在Pt(111)基底上制备了BZT-0.5BCT铁电薄膜。研究了不同退火工艺对薄膜结构、形貌和铁电性的影响。结果表明逐层退火的薄膜表现出更好的铁电性。