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2015年到2020年，中国大陆半导体产业投资将达到680亿美元，而芯片制造设备投资额也达到500亿美元。但是我国的芯片制造设备95％依赖于进口，核心设备被国外公司垄断，如果国产的设备商没有突破，钱都会让外国公司挣走了。
中微半导体，中国大陆第一台等离子刻蚀机的创造者
【摘 要】
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2015年到2020年，中国大陆半导体产业投资将达到680亿美元，而芯片制造设备投资额也达到500亿美元。但是我国的芯片制造设备95％依赖于进口，核心设备被国外公司垄断，如果国产的设备商
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2017年4期
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