二维扫描式微光学传感器

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【摘要】

：

<正> 1.前言随着半导体激光器和微光学元件技术的发展和进步,以光记录装置和光通信仪器为代表的光电子仪器和装置明显向小型化、高功能化发展。最近,正在开发研究把微传动装

【作者】

：

池田正哲江涛

【机构】

：

日本（?）株式会社,日本（?）株式会社

【出处】

：

红外

【发表日期】

：

1999年7期

【关键词】

：

二维扫描式微光学传感器硅微扫描器

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<正> 1.前言随着半导体激光器和微光学元件技术的发展和进步,以光记录装置和光通信仪器为代表的光电子仪器和装置明显向小型化、高功能化发展。最近,正在开发研究把微传动装置技术融合于这种光电子仪器·装置、更加小型化高功能化的光学MEMS(微电-机系统)或者MOEMS(光机电微系统),从而使此领域的研究开发更加活

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