用于硅表面低温钝化的阳极二氧化硅膜的优化

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：beidoubiao

【摘要】

：

用于硅表面低温钝化的阳极二氧化硅膜的优化＝Ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆａｎｏｄｉｃｓｉｌｉｃｏｎｏｘｉｄｅｆｉｌｍｓｆｏｒｌｏｗｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｐａｓｓｉｖａｔｉｏｎｏｆｓｉｌｉｃｏｎｓｕｒ－ｆａｃｅｓ［刊，英］／Ｍｅｎｄｅ，Ｇ．…Ｊ．Ｅｌｅｃ... Optimization of anodic silica membranes for low temperature passivation of silicon surfaces = Optimizationofa

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年03期

【关键词】

：

硅表面阳极氧化膜电子探测器钝化层测量材料检测系统图形的

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