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就65Mn钢圆锯片基片淬火过程中残余应力的分布特点进行了实验研究，结果表明：经淬火后基片径／切向残余应力主要呈拉应力状态，其中水淬造成较大的残余拉应力，切向拉应力过大是造成基片开裂、变形的主要原因。油淬的残余拉应力较小，生产中若采用油或类似的冷速进行淬火，就能较好的控制淬火质量，为回火和平整等后续工艺奠定基础。