单室沉积高效非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究

• 作 者: 张晓丹 郑新霞 王光红 许盛之 岳强 林泉 魏长
• 机 构: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室
• 出 处: 物理学报
• 发表日期: 2010年11期
• 关键词: 非晶硅/微晶硅叠层电池 单室 甚高频
• 基金项目: 国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA05Z436,2009AA050602);天津科技支撑项目(批准号:08ZCKFGX03500);国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB202602,2006CB202603);国家自然科学基金(批准号:60976051);科技部国际合作重点项目(批准号:2006DFA62390,2009DFA62580);教育部新世纪人才(批准号:NCET

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在前期单室沉积的微晶硅薄膜太阳电池和非晶硅/微晶硅叠层太阳电池研究的基础上,通过对微晶硅底电池本征层硅烷浓度的优化,获得了初始效率达到11.02%(电池面积1.0cm2)的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池.同时,100cm2的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的组件效率也达到了9.04%.