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在70年代末和80年代初就有人提出了应用于多重成像的多光束分光技术，H.Dammann等人提出将多光束分光技术应用于集成电路掩模板的制造，近年来人们又开发了应用于光盘存储技术和光通讯领域的多光束分光技术。随着光计算研究的深入，在一些光学逻辑和光学运算系统中，以及光学数据总线系统中常常要实现多光束分光或要求得到一强度均匀的点阵与逻辑单元相匹配，这就大大地开阔了多光束分光元件的应用范围。常规的分光元件的制作方法有光学全息法，计算全息图的延拓法，波导型透镜阵列，位相光栅等等。由于全息法产生的点阵衍射效率低（即使