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【摘 要】
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金属器官的化学蒸汽免职(MOCVD ) 是在在工业生产半导体 optoelectronic 设备和微波设备的一台关键设备。加热系统是 MOCVD 的重要部分。特定的加热设备和热控制技术为每个新
【机 构】
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AdvancedTechnologyGeneralizationInstituteofCNGC,TheCenterofCoordinationandSupportofStateAdministrati
【出 处】
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Journal of Central South University
【发表日期】
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2014年9期
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