激光化学

来源 :中国光学与应用光学文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liandakj2005

【摘要】

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O644.18 2000020996Ar+激光诱导湿刻Si的特性研究=Properties ofAr+ laser-induced wet etching into Si[刊,中]/宋登元,郭宝增,李宝通（河北大学电子与

【出处】

：

中国光学与应用光学文摘

【发表日期】

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2000年2期

【关键词】

：

光解机理染料激光荧光发射谱中国科技大学化学物理可调谐物理学报激光化学林森安徽

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O644.18 2000020996Ar+激光诱导湿刻Si的特性研究=Properties ofAr+ laser-induced wet etching into Si[刊,中]/宋登元,郭宝增,李宝通（河北大学电子与信息工程系.河北,保定（071002））//激光技术.-1999,23（3）.-190-193利用聚焦的Ar+激光束诱导的方法,实现了对浸入HF:H&l

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