【摘 要】
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用A/B腐蚀剂在重掺Te的GaAs单晶缺陷观察中发现,可以根据金相表面的腐蚀图形定性判断出位错线与金属表面的距离。据此本文提出了“立体腐蚀”的概念,阐明了“立体腐蚀”的原
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用A/B腐蚀剂在重掺Te的GaAs单晶缺陷观察中发现,可以根据金相表面的腐蚀图形定性判断出位错线与金属表面的距离。据此本文提出了“立体腐蚀”的概念,阐明了“立体腐蚀”的原理。用“立体腐蚀”的方法观察了螺旋管位错及船形坑。证明了螺旋管位错的一环或一个位错环可以对应于一个船形坑。
Using the A / B etchant observed in Ga heavily doped GaAs single crystal defects, the distance between the dislocation line and the metal surface can be qualitatively determined according to the corrosion pattern of the metallographic surface. Accordingly, this paper puts forward the concept of “three-dimensional corrosion” and expounds the principle of “three-dimensional corrosion”. Spiral dislocations and craters were observed by the “three-dimensional corrosion” method. It is proved that a ring or a dislocation loop of a coil dislocation can correspond to a boat crater.
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