【摘 要】
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1974年首次论证了GaAs的高速性能。从那时起,随着市场的稳定,GaAs数字集成电路已从实验室小规模实验转到实际制造工艺中。现在能制造LSI GaAs IC,并且正在研究VLSI结构。本文
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1974年首次论证了GaAs的高速性能。从那时起,随着市场的稳定,GaAs数字集成电路已从实验室小规模实验转到实际制造工艺中。现在能制造LSI GaAs IC,并且正在研究VLSI结构。本文描述了几种数字集成电路的工艺技术,并讨论了典型应用及其结果。还讨论了生产GaAs IC所用的设备和仪器的制造设想。
For the first time in 1974 demonstrated GaAs high-speed performance. Since then, as the market has stabilized, GaAs digital integrated circuits have moved from lab-scale experiments to actual manufacturing processes. LSI GaAs ICs can now be manufactured and VLSI structures are under study. This article describes several techniques for digital integrated circuits and discusses typical applications and their results. Also discussed is the manufacturing concept for the equipment and instruments used to make GaAs ICs.
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