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本文就ＩＣＰ加速度计作一简介，并且对弯曲型的结构进行浅析。作者认为ＩＣＰ加速度计是今后采用天然或人造晶体作为敏感元件的加速度计的发展方向。本文为该项研究的简要报告。
弯曲型ICP加速度计
【摘 要】
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本文就ＩＣＰ加速度计作一简介，并且对弯曲型的结构进行浅析。作者认为ＩＣＰ加速度计是今后采用天然或人造晶体作为敏感元件的加速度计的发展方向。本文为该项研究的简要报告。
【机 构】
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上海航空测控技术研究所,上海计量技术研究所
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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1995年1期
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