【摘 要】
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提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统（MEMS）蒙皮技术，研究了蒙皮结构设计以及加工工艺。设计了一种包含柔性基底层、金属电极图案层和微凹坑阵列层的三层式蒙皮结
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,清华大学摩擦学国家重点实验室
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提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统（MEMS）蒙皮技术，研究了蒙皮结构设计以及加工工艺。设计了一种包含柔性基底层、金属电极图案层和微凹坑阵列层的三层式蒙皮结构，提出了两种基于MEMS工艺的制作方法。分别采用聚二甲基硅氧烷（PDMS）和SU-8胶材料制作了微凹坑阵列层，并对其关键工序进行了实验研究。以SU-8胶为微凹坑阵列材料制作了柔性MEMS蒙皮样件。所制样件中，圆柱形驻气凹坑的直径为40μm、深度为50μm、密度为6．25×10^4／cm^2、样件总厚度为90μm，可弯曲并贴附于
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